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  ■產品說明  
 
 
 半導體製程用幫浦
 產品編號: FS series
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 產品類別: IWAKI-PUMP磁力式無軸封幫浦,定量幫浦,化工幫浦
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 其他說明:  

規格:

Max. discharge capacity     : 55  mL/min.

Max. supplied air pressure : 0.5 MPa

Max. Air consumption         : 670 NL/min

Max. stroke speed               : 240 spm

Main materials                    : PTFE, PFA

Liquid temp. range              : 5 to 180 C deg.

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